WORD/관심단어
고순도 불화수소
COPAN
2019. 7. 7. 13:30
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hydrogen fluoride.
독성이 강한 부식성 기체.
반도체 제조공정 중 회로의 패턴을 형성하는 식각(etching)과 세정(cleaning)공정에 활용